【CN201910720478.4】用于檢測(cè)機(jī)械壓力機(jī)中的故障的設(shè)備和方法

【CN201910720478.4】用于檢測(cè)機(jī)械壓力機(jī)中的故障的設(shè)備和方法 標(biāo)題：用于檢測(cè)機(jī)械壓力機(jī)中的故障的設(shè)備和方法 申請(qǐng)?zhí)枺篊N201910720478.4 申請(qǐng)人：先進(jìn)科技新加坡有限公司 申請(qǐng)日：2019-8-6 專利類型：發(fā)明申請(qǐng) 本發(fā)明提供了一種用于檢測(cè)用于沖壓半導(dǎo)體元件的壓力機(jī)中的故障的設(shè)備和方法，其中所述方法包括以下步驟：將半導(dǎo)體元件定位在所述壓力機(jī)中所包括的第一模具組部分與第二模具組部分之間；以及使所述第一模具組部分和所述第二模具組部分相對(duì)于彼此移動(dòng)，以沖壓位于其間的所述半導(dǎo)體元件。所述方法進(jìn)一步包括以下步驟：在沖壓所述半導(dǎo)體元件的同時(shí)，當(dāng)所述第一模具組部分相對(duì)于所述第二模具組部分移動(dòng)時(shí)，用附接到所述第一模具組部分和/或所述第二模具組部分的傳感器來監(jiān)控在所述第一模具組部分的不同位置處的參數(shù)；以及比較所述第一模具組部分相對(duì)于所述第二模具組部分的不同位置處的所述參數(shù)的當(dāng)前變化與當(dāng)沖壓所述半導(dǎo)體元件的同時(shí)不存在故障時(shí)，在所述壓力機(jī)的正常操作期間所述第一模具組部分相對(duì)于所述第二模具組部分的位置處的所述參數(shù)的預(yù)期變化。所述方法還包括以下步驟：當(dāng)所述參數(shù)的所述當(dāng)前變化不同于所述參數(shù)的所述預(yù)期變化時(shí)，確定所述壓力機(jī)中已發(fā)生故障。